Testing specimens for SEM
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00426229" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00426229 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM
Original language description
Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém substrátu. Využití pro testování metriky (rozměrů a ortogonality) elektronových rastrovacích mikroskopů a pro kalibraci zorného pole mikroskopu. Vzorky jsou připraveny hromadně na křemíkovém substrátu pomocí elektronové litografie a souvisejících technik, a dále dokončeny individuálními operacemi na úrovni jednotlivých čipů. Související výzkum a vývoj v oblasti kontroly a validace přesnosti a tolerance mikro rozměrů; kalibrační certifikát.
Czech name
SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM
Czech description
Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém substrátu. Využití pro testování metriky (rozměrů a ortogonality) elektronových rastrovacích mikroskopů a pro kalibraci zorného pole mikroskopu. Vzorky jsou připraveny hromadně na křemíkovém substrátu pomocí elektronové litografie a souvisejících technik, a dále dokončeny individuálními operacemi na úrovni jednotlivých čipů. Související výzkum a vývoj v oblasti kontroly a validace přesnosti a tolerance mikro rozměrů; kalibrační certifikát.
Classification
Type
V<sub>souhrn</sub> - Summary research report
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Others
Publication year
2012
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Number of pages
5
Place of publication
Brno
Publisher/client name
—
Version
—