All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

SMV-2015-35: Development of test speciments for SEM

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F15%3A00453081" target="_blank" >RIV/68081731:_____/15:00453081 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    čeština

  • Original language name

    SMV-2015-35: Vývoj testovacích preparátů pro REM

  • Original language description

    Výzkum a vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur pomocí mikrolitografických technik v křemíku pro testovaní zobrazování rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Vývoj v oblasti tvorby grafických prvků testovacích struktur. Vývoj zvýšení jakosti a přesnosti kalibračních struktur z pohledu technických postupů pro jejich přípravu.

  • Czech name

    SMV-2015-35: Vývoj testovacích preparátů pro REM

  • Czech description

    Výzkum a vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur pomocí mikrolitografických technik v křemíku pro testovaní zobrazování rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Vývoj v oblasti tvorby grafických prvků testovacích struktur. Vývoj zvýšení jakosti a přesnosti kalibračních struktur z pohledu technických postupů pro jejich přípravu.

Classification

  • Type

    V<sub>souhrn</sub> - Summary research report

  • CEP classification

    BH - Optics, masers and lasers

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

  • Continuities

    N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju

Others

  • Publication year

    2015

  • Confidentiality

    C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Data specific for result type

  • Number of pages

    4

  • Place of publication

    Brno

  • Publisher/client name

    TESCAN Brno s.r.o

  • Version