Interferometric nano-comparator for calibrations of length gauges with nanometre accuracy
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F20%3A00531103" target="_blank" >RIV/68081731:_____/20:00531103 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Kalibrační interferometrický nanokomparátor pro ověřování stupnic sensorů délky nové generace
Original language description
Kalibrační nanokomparátor pro ověření délkových měřidel v jedné ose s vertikálním uspořádáním. Jako referenční stupnici využívá laserový diferenční interferometr s integrovanou pasivní kompenzací geometrických chyb (Abbého chyba, kosinová chyba ) a aktivní detekcí chyby vedení pohyblivého mostu. Podpůrná elektronika dále realizue aktivní stabilizaci měřicího zrcadla a dále sledování a kompenzaci vlivů prostředí (teplota, tlak, vibrace). Měřicí rozsah zařízení je >70mm, rozlišení stupnice je 0.1nm, absolutní přesnost pod 10nm. Rozlišení a přesnost dvojstupňového polohování je shodná s rozlišením i přesností měření, rychlost 2 mm/s. Šířka pásma měření je více než 100kHz.
Czech name
Kalibrační interferometrický nanokomparátor pro ověřování stupnic sensorů délky nové generace
Czech description
Kalibrační nanokomparátor pro ověření délkových měřidel v jedné ose s vertikálním uspořádáním. Jako referenční stupnici využívá laserový diferenční interferometr s integrovanou pasivní kompenzací geometrických chyb (Abbého chyba, kosinová chyba ) a aktivní detekcí chyby vedení pohyblivého mostu. Podpůrná elektronika dále realizue aktivní stabilizaci měřicího zrcadla a dále sledování a kompenzaci vlivů prostředí (teplota, tlak, vibrace). Měřicí rozsah zařízení je >70mm, rozlišení stupnice je 0.1nm, absolutní přesnost pod 10nm. Rozlišení a přesnost dvojstupňového polohování je shodná s rozlišením i přesností měření, rychlost 2 mm/s. Šířka pásma měření je více než 100kHz.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FV10336" target="_blank" >FV10336: Advanced systems length measuring techniques for limiting operating conditions</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2020
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
APL-2020-01
Numerical identification
APL-2020-01
Technical parameters
Rozsah měření délek až 70 mm, rozlišení měřené vzdálenosti 0.1 nm, linearita měření délky < 10 nm, absolutní přesnost < 10 nm, režim měření: absolutní, rozsah provozních teplot 18-25 oC.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ondřej Číp, Ph.D., ocip@isibrno.cz
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístorojové techiky AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—