Annular aperture for Scanning electron microscope
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F20%3A00536666" target="_blank" >RIV/68081731:_____/20:00536666 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Anulární apertury pro skenovací elektronový mikroskop
Original language description
Vědecká zpráva popisující možnosti aplikace anulárních apertur v rastrovací elektronové mikroskopii. Je diskutován jejich vliv na profil svazku a rozlišení. Ukázali jsme, že se výrazně odlišuje hodnota rozlišení pro Rayleigho kritériun a pro standardně používané rozlišení dané průměrem oblasti proudového profilu, která obsahuje 50% proudu. Pomoci simulace obrazu jsme zjistily, že v případě anulárního osvětlení jsou patrné větší detaily obrazu, ale výrazně se zvýší šum v obraze. Simulace obrazu byly použity jako vstup pro algoritmus strojového učení, který umožňuje redukci šumu na úroveň kruhových clon za současného zachování jemnějších detailů, které poskytuje anulární osvětlení.
Czech name
Anulární apertury pro skenovací elektronový mikroskop
Czech description
Vědecká zpráva popisující možnosti aplikace anulárních apertur v rastrovací elektronové mikroskopii. Je diskutován jejich vliv na profil svazku a rozlišení. Ukázali jsme, že se výrazně odlišuje hodnota rozlišení pro Rayleigho kritériun a pro standardně používané rozlišení dané průměrem oblasti proudového profilu, která obsahuje 50% proudu. Pomoci simulace obrazu jsme zjistily, že v případě anulárního osvětlení jsou patrné větší detaily obrazu, ale výrazně se zvýší šum v obraze. Simulace obrazu byly použity jako vstup pro algoritmus strojového učení, který umožňuje redukci šumu na úroveň kruhových clon za současného zachování jemnějších detailů, které poskytuje anulární osvětlení.
Classification
Type
O - Miscellaneous
CEP classification
—
OECD FORD branch
20201 - Electrical and electronic engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2020
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.