SMV-2021-62: Coordinate interferometric systems
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F21%3A00551039" target="_blank" >RIV/68081731:_____/21:00551039 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy
Original language description
Vývoj víceosých interferometrických systémů pro souřadnicové polohování a odměřování s měřením ve dvou a třech osách pro polohování vzorků v elektronových litografech.
Czech name
SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy
Czech description
Vývoj víceosých interferometrických systémů pro souřadnicové polohování a odměřování s měřením ve dvou a třech osách pro polohování vzorků v elektronových litografech.
Classification
Type
V<sub>souhrn</sub> - Summary research report
CEP classification
—
OECD FORD branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Result continuities
Project
—
Continuities
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Others
Publication year
2021
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Number of pages
2
Place of publication
Brno
Publisher/client name
Antonín Schenk s.r.o.
Version
—