Cryo-stage and anti-contaminator for FIB-SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F22%3A00566637" target="_blank" >RIV/68081731:_____/22:00566637 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Kryo-stolek a antikontaminátor pro FIB-SEM

Original language description

Funkčním vzorkem je stolek mikroskopu pro umístění držáku hluboce zamražených vzorků a jejich analýzu při pozorování v rastrovacím elektronovém mikroskopu za kryogenních teplot (cryo-SEM). Rastrovací elektronový mikroskop vybavený fokusovaným iontovým svazkem (FIB-SEM) může být díky stolku použit i pro mikro obrábění různých typů vzorků v kryogenních podmínkách. Současný stolek je vybaven mechanismem pro uchycení držáku vzorků založeného na komerčním systému typu Bal-Tec nebo Leica microsystems a také anti kontaminačním štítem pro zachytávání nečistot, které by jinak dopadly na vzorek a způsobily kontaminaci jeho povrchu.

Czech name

Kryo-stolek a antikontaminátor pro FIB-SEM

Czech description

Funkčním vzorkem je stolek mikroskopu pro umístění držáku hluboce zamražených vzorků a jejich analýzu při pozorování v rastrovacím elektronovém mikroskopu za kryogenních teplot (cryo-SEM). Rastrovací elektronový mikroskop vybavený fokusovaným iontovým svazkem (FIB-SEM) může být díky stolku použit i pro mikro obrábění různých typů vzorků v kryogenních podmínkách. Současný stolek je vybaven mechanismem pro uchycení držáku vzorků založeného na komerčním systému typu Bal-Tec nebo Leica microsystems a také anti kontaminačním štítem pro zachytávání nečistot, které by jinak dopadly na vzorek a způsobily kontaminaci jeho povrchu.

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

—

OECD FORD branch

20201 - Electrical and electronic engineering

Project

<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>

Continuities

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year

2022

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID

APL-2022-24

Numerical identification

APL-2022-24

Technical parameters

Kryo-stolek umožňující uchycení komerčního držáku vzorku je k posuvnému mechanismu mikroskopu připevněn pomocí centrovacích kolíků a jednoho šroubu uprostřed stolku. Otvor pro hlavičku šroubu je průchozí skrz držák, takže není nutné rozebírat celý stolek. Část stolku, do které se upevňuje držák vzorku je připevněna ke spodní podložce pomocí čtyř sloupků Antikontaminační štít vzorku je připevněn ke spodní podložce dvěma podobnými, delšími sloupky. Antikontaminační štít může být pomocí chladovodu připojen zjednodušenou cestou buď k velkému antikontaminačnímu štítu ze zadní strany nebo přímo na palec (k držáku nebo chladovodu vedoucí od palce) chladící Dewarovy nádoby. Součástí systému je měřič teploty připojený k pravé části, z levé části je připojen ohřívač, kterým můžeme regulovat teplotu vzorku. Systém je schopen dosáhnout teoretické teploty 81 K. Posuvný mechanismus i se stolkem mikroskopu je schopný náklonu do 52°, který slouží pro náklon vzorku ve směru k iontovému svazku pro kolmé obrábění svazkem k povrchu vzorku.

Economical parameters

Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Kamila Hrubanová, Ph.D., hrubanova@isibrno.cz.

Application category by cost

—

Owner IČO

68081731

Owner name

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee requirement

—

Web page

—