Calibration standard with precise 3D morphological structure

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F24%3A00598776" target="_blank" >RIV/68081731:_____/24:00598776 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Kalibrační standard s přesnou 3D morfologickou strukturou

Original language description

Funkční vzorek je kalibrační preparát navržený pro skenovací mikroskopii (SPM) a elektronovou mikroskopii (SEM), s využitím v konvoluční mikroskopii. Preparát je založen na přesně definovaných strukturách monokrystalického křemíku, které umožňují vysoce kontrastní zobrazení a přesné měření vzdáleností. Kombinuje přesné mikro-výrobní operace využívající elektronové litografie, mokré leptání křemíku, reaktivním leptáním, depozice tenkých vrstev a techniku Lift-off, což zajišťuje atomární přesnost motivů a vysokou ortogonalitu struktur a možnost kalibrace konvoluční mikroskopie metodami SEM a SPM. Funkční vzorek má formu křemíkového čipu a obsahuje přesnou morfologickou strukturu realizovanou v monokrystalickém křemíkovém nosiči s dalšími strukturami připravenénavazujícími litografickými kroky. Součástí je dokumentace popisující design kalibračních struktur a obrazové podklady obsahující výstupy z měření vzorku na AFM, SEM a konfokálním mikroskopu.

Czech name

Kalibrační standard s přesnou 3D morfologickou strukturou

Czech description

Funkční vzorek je kalibrační preparát navržený pro skenovací mikroskopii (SPM) a elektronovou mikroskopii (SEM), s využitím v konvoluční mikroskopii. Preparát je založen na přesně definovaných strukturách monokrystalického křemíku, které umožňují vysoce kontrastní zobrazení a přesné měření vzdáleností. Kombinuje přesné mikro-výrobní operace využívající elektronové litografie, mokré leptání křemíku, reaktivním leptáním, depozice tenkých vrstev a techniku Lift-off, což zajišťuje atomární přesnost motivů a vysokou ortogonalitu struktur a možnost kalibrace konvoluční mikroskopie metodami SEM a SPM. Funkční vzorek má formu křemíkového čipu a obsahuje přesnou morfologickou strukturu realizovanou v monokrystalickém křemíkovém nosiči s dalšími strukturami připravenénavazujícími litografickými kroky. Součástí je dokumentace popisující design kalibračních struktur a obrazové podklady obsahující výstupy z měření vzorku na AFM, SEM a konfokálním mikroskopu.

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

—

OECD FORD branch

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Project

<a href="/en/project/FW03010504" target="_blank" >FW03010504: Development of in-situ techniques for characterization of materials and nanostructures</a><br>

Continuities

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year

2024

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID

APL-2024-05

Numerical identification

FW03010504-V9

Technical parameters

Křemíkový čip rozměru 10 mm x 10 mm obsahující motiv kalibračních vzorů obsahující tvarově přesné morfologické struktury zaznamenané v povrchu i na povrchu monokrystalického křemíkového nosiče, metodami mokrého leptání, reaktivního iontového leptání a technikou lift-off.

Economical parameters

Funkční vzorek vyvinutý během řešení projektu s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Milan Matějka, mmatejka@isibrno.cz

Application category by cost

—

Owner IČO

68081731

Owner name

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

V - Výsledek je využíván vlastníkem

Licence fee requirement

—

Web page

—