Degradation and stress evolution in a-C, a-C:H a Ti-C:H films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F01%3A00100169" target="_blank" >RIV/68378271:_____/01:00100169 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Degradation and stress evolution in a-C, a-C:H a Ti-C:H films

Original language description

Some observations of the stress evolution and degradations of diamond-like a-C, a-C:H and Ti-C (10-20 at.% of Ti) films deposited by magnetron sputtering of the C or Ti target in the Ar or Ar+CH4 gas mixture are presented. The compressive stress increased during several days for Ti-C:H films but not for a-C films. The growth of stress was accompanied by a decrease of optical constants n and k

Czech name

Degradace a vývoj pnutí ve vrstvách a-C, a-C:H a Ti-C:H

Czech description

Jsou prezentována některá pozorování vývoje vnitřních pnutí a degradace diamantu podobných vrstev a-C, a-C:H a Ti-C (10-20 at.% Ti) deponovaných magnetronovým naprašováním z C nebo Ti targetů v Ar nebo směsi Ar+CH4. Tlaková pnutí rostla v průběhu několika dní ve filmech Ti-C:H, nerostla ve vrstvách a-C. Růst pnutí byl provázen poklesem optických konstant n a k

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/LN00A015" target="_blank" >LN00A015: Research center for optics</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2001

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Volume of the periodical

142-144

Issue of the periodical within the volume

-

Country of publishing house

CH - SWITZERLAND

Number of pages

5

Pages from-to

702-706

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—