Study of plasma in hybrid PLD system for CNx films creation

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F02%3A00104234" target="_blank" >RIV/68378271:_____/02:00104234 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Study of plasma in hybrid PLD system for CNx films creation

Original language description

We have developed hybrid PLD systems (combination of PLD and additional radiofrquency discharges) for increasing active nitrogen concentration in plasma and consequently N/C ratio in deposited films. For study of plasma and plasma processes we have usedOES

Czech name

Studium plasmy v hybridním PLD systému pro přípravu CNx vrstev

Czech description

Byl vyvinut nový hybridní PLD systém (kombinace PLD s přídavným radiofrekvenčným výbojem) pro zvýšení koncentrace aktivního dusíku v plasmě a následně poměru N:C v připravených vrstvách. Pro studium plasmy a procesů v ní byla použita metoda OES

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/IAA1010110" target="_blank" >IAA1010110: Novel Laser-based Hybrid Technologies for thin Film Deposition</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2002

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Optické komunikace

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

124-125

Publisher name

TechMarket, Praha

Place of publication

Praha

Event location

Praha

Event date

Oct 1, 2002

Type of event by nationality

CST - Celostátní akce

UT code for WoS article

—