Theoretical measurement uncertainity of white-light interferometry on rough surfaces

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F03%3A00104240" target="_blank" >RIV/68378271:_____/03:00104240 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Theoretical measurement uncertainity of white-light interferometry on rough surfaces
Original language description
A great advantage of the white-light interferometry is that it can be used for profile measurement of objects with a rough surface. A speckle pattern that arises in the image plane allows one to observe the interference; however, this pattern is also thesource of the measurement uncertainty. We derive the theoretical limits of the longitudinal uncertainty by virtue of the first-order statistics of the speckle pattern
Czech name
Teoretická nejistota měření interferometrie v bílém světle na drsných površích
Czech description
Velkou výhodou interferometrie v bílém světle je, že může být použita pro měření výškového profilu předmětu s drsným povrchem. Speklový obrazec, který se objeví v obrazové rovině, umožňuje pozorovat interference, zároveň však je tento obrazec zdrojem nejistoty měření. Odvodili jsme teoretické meze podélné nejistoty měření pomocí statistiky prvního řádu speklového obrazce

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/LN00A015" target="_blank" >LN00A015: Research center for optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2003
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)