Influence of the substrate temperature on the properties of nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite films

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00039889" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00039889 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Influence of the substrate temperature on the properties of nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite films
Original language description
Nanocrystalline diamond/amorphous carbon (NCD/a-C) composite films have been deposited by microwave plasma chemical vapour deposition from CH4/N2 mixtures. They consist of diamond nanocrystals of 3-5 nm grain size, embedded in an amorphous matrix with thickness of 1-1.5 nm. The matrix is mainly sp3 bonded, with about 20-30% sp2 material, and contains 10% hydrogen in the form of sp3 CHx unity
Czech name
Vliv teploty podložky na vlastmosti nanokrystalického/amorfního uhlíkového kompositního filmu
Czech description
Nanokrystalický diamanat/amorfní uhlíková (NCD/a-C)kompositní vrstva byla připravena technikou mikrovlnného CVD. Rozměr diamantových nanokrystalů byl 3-5 nm. Matrice obsahovala převážně sp3 vazby a asi 20-30% vazeb sp2

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/IAA1010110" target="_blank" >IAA1010110: Novel Laser-based Hybrid Technologies for thin Film Deposition</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)