Transport properties of microcrystalline silicon prepared at high growth rate

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00040655" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00040655 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Transport properties of microcrystalline silicon prepared at high growth rate
Original language description
Amorphous / microcrystalline transition was studied in the high growth-rate depositions of hydrogenated silicon films at a high pressure (700 Pa) in a depletion regime using a series of samples with the ratio of hydrogen to silane flows from 10 to 32
Czech name
Transportní vlastnosti mikrokrystalického křemíku připraveného s vysokou růstovou rychlostí
Czech description
Amorfní / mikrokrystalický přechod byl studován při depozicích hydrogenovaných křemíkových vrstev s vysokou růstovou rychlostí při vysokém tlaku (700 Pa) v režimu ochuzeného plazmatu za použití série vzorků s poměrem průtoků vodíku a silanu od 10 do 32

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)