Detailed structural study of low temperature mixed-phase Si films by X-TEM and ambient conductive AFM

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00040682" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00040682 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Detailed structural study of low temperature mixed-phase Si films by X-TEM and ambient conductive AFM
Original language description
We have succeeded in the measurement of local conductivity of thin Si films under standard ambient conditions, overcoming the surface native oxide by more sensitive (pA range) current detection and we also observed the columnar structure of the amorphousphase both by TEM and AFM
Czech name
Detailní studium struktury nízkoteplotních Si vrstev se smíšenou strukturou pomocí X-TEM a atmosférického vodivostního AFM
Czech description
Podařilo se nám provést měření lokální vodivosti tenkých Si vrstev za standardních atmosférických podmínek, když přítomnost povrchové vrstvy přirozeného oxidu byla překonána citlivější detekcí proudu (pA rozsah) a také jsme mozorovali sloupcovou strukturu amorfní fáze jak pomocí TEM, tak AFM

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)