Application of laser plasma soft x-ray and EUV sources in micro- and nanotechnology

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F07%3A00086264" target="_blank" >RIV/68378271:_____/07:00086264 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68407700:21340/07:04137471
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Application of laser plasma soft x-ray and EUV sources in micro- and nanotechnology
Original language description
Results on micro- and nanoprocessing of organic polymers using X-rays and extreme ultraviolet (EUV) generated from laser-plasma radiation sources are presented in the paper. The sources used in the studies are based on the gas puff target approach developed at the Institute of Optoelectronics, Warsaw
Czech name
Využití laserového plazmatu jako zdroje měkkého rentgenového a EUV záření v mikro- a nano-technologii
Czech description
Prezentujeme výsledky experimentů zaměřených na mikro- a nano-opracování organických polymerů pomocí rentgenového a extrémního ultrafialovového záření (EUV) emitovaného laserovým plazmatem. Zdroje využité k tomuto účelu byly realizovány v pulzních plynovým terčích vyvinutých v Institute of Optoelectronics ve Varšavě

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of the International Conference on Laser Technology VIII: Applications of Lasers
ISBN
978-0-8194-6734-8
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
8
Pages from-to
1-8
Publisher name
SPIE
Place of publication
Bellingham
Event location
Szczecin-Swinoujscie
Event date
Sep 25, 2006
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)