White-light interferometry on rough surfaces - measurement uncertainty caused by surface roughness

Result code in IS VaVaI

RIV/68378271:_____/08:00320723 - isvavai.cz

Alternative codes found

RIV/61989592:15310/08:00005880

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

White-light interferometry on rough surfaces - measurement uncertainty caused by surface roughness

Original language description

n this paper following questions are answered by means of numerical simulations: which height is measured by white-light interferometry when the surface is rough? how does the surface roughness affect the measurement uncertainty?

Czech name

[Interferometrie v bílém světle - nejistota měření způsobená drsností povrchu

Czech description

V tomto článku jsou pomocí numerických simulací zodpovězeny následující otázky: jaká výška je naměřena interferometrií v bílém světle, pokud je povrch předmětu drsný? jak ovlivňuje drsnost povrchu nejistotu měření?

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

KAN301370701: Nanostructured Macroscopic Systems - Technology and Characterisation

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Applied Optics

ISSN

0003-6935

e-ISSN

—

Volume of the periodical

47

Issue of the periodical within the volume

16

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

9

Pages from-to

—

UT code for WoS article

000256847300007

EID of the result in the Scopus database

—