White-light interferometry on rough surfaces - measurement uncertainty caused by surface roughness

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00320723" target="_blank" >RIV/68378271:_____/08:00320723 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/61989592:15310/08:00005880
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
White-light interferometry on rough surfaces - measurement uncertainty caused by surface roughness
Original language description
n this paper following questions are answered by means of numerical simulations: which height is measured by white-light interferometry when the surface is rough? how does the surface roughness affect the measurement uncertainty?
Czech name
[Interferometrie v bílém světle - nejistota měření způsobená drsností povrchu
Czech description
V tomto článku jsou pomocí numerických simulací zodpovězeny následující otázky: jaká výška je naměřena interferometrií v bílém světle, pokud je povrch předmětu drsný? jak ovlivňuje drsnost povrchu nejistotu měření?

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/KAN301370701" target="_blank" >KAN301370701: Nanostructured Macroscopic Systems - Technology and Characterisation</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)