Manipulator for ion implantation into fine grains substrates
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F08%3A00160432" target="_blank" >RIV/68407700:21220/08:00160432 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Manipulátor pro iontovou implantaci do jemnozrnných substrátů
Original language description
Manipulátor pro iontovou implantaci do jemnozrnných substrátů byl vyvinut a zkonstruován pro optimalizaci povrchové modifikace 10 systémů jemnozrnných substrátů iontovou implantací současně. Jednotlivé systémy jsou v uzavřených celách, jejichž přední stěnu tvoří jemná mřížka, kterou prochází iontový svazek. Pro optimalizaci povrchové modifikace soustava cel rotuje. Rotace je zajištěna příslušným převodním mechanismem.
Czech name
Manipulátor pro iontovou implantaci do jemnozrnných substrátů
Czech description
Manipulátor pro iontovou implantaci do jemnozrnných substrátů byl vyvinut a zkonstruován pro optimalizaci povrchové modifikace 10 systémů jemnozrnných substrátů iontovou implantací současně. Jednotlivé systémy jsou v uzavřených celách, jejichž přední stěnu tvoří jemná mřížka, kterou prochází iontový svazek. Pro optimalizaci povrchové modifikace soustava cel rotuje. Rotace je zajištěna příslušným převodním mechanismem.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JQ - Machinery and tools
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
12102 - P03 - 2008 - 11
Numerical identification
—
Technical parameters
Iontová implantace do jemnozrnných substrátů
Economical parameters
3 800 Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
68407700
Owner name
České vysoké učení technické v Praze, Fakulta strojní
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—