Equipment for measurement of ion current density across ion beam
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F08%3A00160433" target="_blank" >RIV/68407700:21220/08:00160433 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zařízení pro měření hustoty iontového proudu v průřezu iontového svazku
Original language description
Zařízení pro měření hustoty iontového proudu v průřezu iontového svazku bylo vyvinuto a zkonstruováno pro kalibraci a monitorování iontové implantace. Hustota iontového proudu je měřena Faradayovou komůrkou, která je posouvána mechanickým skenerem v průřezu iontového svazku. Faradayova komůrka zabezpečuje měření iontového proudu bez ovlivnění sekundární elektronovou emisí. Mechanický skener je řízen počítačem. Program je sestaven tak, že umožňuje nastavit kroky a rychlost posuvu.
Czech name
Zařízení pro měření hustoty iontového proudu v průřezu iontového svazku
Czech description
Zařízení pro měření hustoty iontového proudu v průřezu iontového svazku bylo vyvinuto a zkonstruováno pro kalibraci a monitorování iontové implantace. Hustota iontového proudu je měřena Faradayovou komůrkou, která je posouvána mechanickým skenerem v průřezu iontového svazku. Faradayova komůrka zabezpečuje měření iontového proudu bez ovlivnění sekundární elektronovou emisí. Mechanický skener je řízen počítačem. Program je sestaven tak, že umožňuje nastavit kroky a rychlost posuvu.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
12102 - P04 - 2008 - 12
Numerical identification
—
Technical parameters
Měření hustoty iontového proudu v průřezu iontového svazku
Economical parameters
80 000 Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
68407700
Owner name
České vysoké učení technické v Praze, Fakulta strojní
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—