Thermally Isolated MEMS Thermo Converter for RF Power Sensor

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F04%3A03104908" target="_blank" >RIV/68407700:21230/04:03104908 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Thermally Isolated MEMS Thermo Converter for RF Power Sensor
Original language description
Work discusses the thermo mechanical simulations performed with the aim to optimise the temperature distribution of the Microwave Power Sensor (MPS) microsystem keeping the thermal stress as low as possible.
Czech name
Teplotně isolovaný MEMS teplotní převodník pro měření vysokofrekvenčního výkonu
Czech description
Hlavním cílem práce je vývoj mikromechanického teplotního převodníku pro nový integrovaný monolitický mikrosenzor určeného pro měření vysokofrekvenčního výkonu s vlnovými délkami zasahujícími až do pásma milimetrových vln. Mikromechanická struktura je řešena jako třírozměrný mikroelektromechanický systém na základě GaAs.

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/GA102%2F03%2F0619" target="_blank" >GA102/03/0619: Smart microsensors and microsystems for measurement, control and environment</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Result description