Contactless Measurement of Thin Film Thickness
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F08%3A03146579" target="_blank" >RIV/68407700:21230/08:03146579 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zařízení pro bezkontaktní měření tloušťky tenkých vodivých vrstev
Original language description
Zařízení pro měření tloušťky vrstvy pomocí vyhodnocení impedance vázané indukční cívky.
Czech name
Zařízení pro bezkontaktní měření tloušťky tenkých vodivých vrstev
Czech description
Zařízení pro měření tloušťky vrstvy pomocí vyhodnocení impedance vázané indukční cívky.
Classification
Type
F<sub>uzit</sub> - Utility model
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Patent/design ID
18976
Publisher
—
Publisher name
—
Place of publication
—
Publication country
—
Date of acceptance
—
Owner name
ČVUT FEL
Method of use
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)