MEMS and microsystem technologies
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F08%3A03151246" target="_blank" >RIV/68407700:21230/08:03151246 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
MEMS a mikrosystémové technologie
Original language description
Článek seznamuje s pojmem MEMS od obecných ke konkrétním definicím a zařazení, MEMS jako součást pojmu mikrosystém. MEMS vzniká propojením oborů elektronika a mechanika s využitím mikrominiaturizace a podpory výroby mikrosystémovými technologiemi v rozměrech mikrometrů. Pro realizaci MEMS se využívají různé technologické postupy. Jsou ukázány některé typické technologie pro výrobu MEMS. Jedná e zejména o povrchové a objemové mikroobrábění, technologie HEXSIL, HARPSS, LIGA a další. Jsou uvedeny typické příklady realizovaných MEMS.
Czech name
MEMS a mikrosystémové technologie
Czech description
Článek seznamuje s pojmem MEMS od obecných ke konkrétním definicím a zařazení, MEMS jako součást pojmu mikrosystém. MEMS vzniká propojením oborů elektronika a mechanika s využitím mikrominiaturizace a podpory výroby mikrosystémovými technologiemi v rozměrech mikrometrů. Pro realizaci MEMS se využívají různé technologické postupy. Jsou ukázány některé typické technologie pro výrobu MEMS. Jedná e zejména o povrchové a objemové mikroobrábění, technologie HEXSIL, HARPSS, LIGA a další. Jsou uvedeny typické příklady realizovaných MEMS.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GA102%2F06%2F1624" target="_blank" >GA102/06/1624: Micro and nano sensor structures and systems with embedded intelligence (MINASES)</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Automa
ISSN
1210-9592
e-ISSN
—
Volume of the periodical
14
Issue of the periodical within the volume
11
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
5
Pages from-to
—
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—