Technology for Fabrication of Gas Sensors with Diamond Layers

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F15%3A00234351" target="_blank" >RIV/68407700:21230/15:00234351 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://micro.fel.cvut.cz/mak/" target="_blank" >http://micro.fel.cvut.cz/mak/</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Technologie výroby senzoru plynů s diamantovými vrstvami
Original language description
Byl ověřen technologický postup výroby rezonančního senzoru plynů na principu křemenných mikrovah (QCM) a vodivostního senzoru s interdigitálními elektrodami. Jednotlivé typy senzorů byly realizovány s několika typy citlivých vrstev na bázi diamantu v různých formách (diamantový prášek, CVD diamant), uhlíkových nanotrubek vyrobených laserovou ablací či nakapáváním a grafitových nanostruktur (nanosheets).Senzory detekují nebezpečné plyny jako nízké koncentrace amoniaku, těkavých látek (VOC).
Czech name
Technologie výroby senzoru plynů s diamantovými vrstvami
Czech description
Byl ověřen technologický postup výroby rezonančního senzoru plynů na principu křemenných mikrovah (QCM) a vodivostního senzoru s interdigitálními elektrodami. Jednotlivé typy senzorů byly realizovány s několika typy citlivých vrstev na bázi diamantu v různých formách (diamantový prášek, CVD diamant), uhlíkových nanotrubek vyrobených laserovou ablací či nakapáváním a grafitových nanostruktur (nanosheets).Senzory detekují nebezpečné plyny jako nízké koncentrace amoniaku, těkavých látek (VOC).

Project
<a href="/en/project/VG20102015015" target="_blank" >VG20102015015: Miniature intelligent system for analyzing concentrations of gases and pollutants, particularly toxic</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2015
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
2015_13134_Ztech_GasDiaSen
Numerical identification
—
Technical parameters
Rezonanční senzory byly realizovány na křemenném substrátu (tloušťka 170 um, průměr 14mm), AT řez, základní rezonanční frekvence 10MHz. Vodivostní senzory byly realizovány na korundovém/sleněném/křemíkovém substrátu s interdigitálními elektrodami o minimálním rozměru 15um. Diamantové citlivé vrstvy byly realizovány fotolitografickým a CVD procesem
Economical parameters
odhad ceny technologie 100000Kč, uživatelem výsledku je České vysoké učení technické v Praze IČ 68407700, nový postup ve výrobě a charakterizaci aplikací s diamantovými vrstvami oproti standardně používaným postupům
Application category by cost
—
Owner IČO
68407700
Owner name
České vysoké učení technické v Praze, Fakulta elektrotechnická
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
http://micro.fel.cvut.cz/mak/

Similar results(10)