Refining mandrel for preparing X-ray optics using the high-frequency sputtering methods and ion beam threating
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F18%3A00316932" target="_blank" >RIV/68407700:21230/18:00316932 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zušlechťování mandrelů pro výroby RTG optik metodami vysokofrekvenčního odprašování a opracovávání iontovým svazkem
Original language description
Tento článek se zabývá možnostmi úpravy povrchu mandrelů pro výrobu rentgenové optiky metodou galvanické replikace. Při výrobě této optiky je zcela zásadním parametrem mikrodrsnost, určující kvalitu a efektivitu odrazu dopadajícího záření. Zabývali jsme se testováním a porovnáním dvou způsobů zušlechťování povrchu mandrelů. Byla použita technika čištění vysokofrekvenčním plasmatem a opracování iontovým svazkem. Kvalita výsledných povrchů byla vyhodnocována pomocí měření mikroskopie atomárních sil (AFM) a na RTG reflektometru.
Czech name
Zušlechťování mandrelů pro výroby RTG optik metodami vysokofrekvenčního odprašování a opracovávání iontovým svazkem
Czech description
Tento článek se zabývá možnostmi úpravy povrchu mandrelů pro výrobu rentgenové optiky metodou galvanické replikace. Při výrobě této optiky je zcela zásadním parametrem mikrodrsnost, určující kvalitu a efektivitu odrazu dopadajícího záření. Zabývali jsme se testováním a porovnáním dvou způsobů zušlechťování povrchu mandrelů. Byla použita technika čištění vysokofrekvenčním plasmatem a opracování iontovým svazkem. Kvalita výsledných povrchů byla vyhodnocována pomocí měření mikroskopie atomárních sil (AFM) a na RTG reflektometru.
Classification
Type
J<sub>ost</sub> - Miscellaneous article in a specialist periodical
CEP classification
—
OECD FORD branch
20506 - Coating and films
Result continuities
Project
—
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2018
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
63
Issue of the periodical within the volume
1
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
2
Pages from-to
17-18
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—