Synthesis of new Si-O(N)-C materials by plasma enhanced CVD
Public support
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
Programme
Promotion and support of young research workers (National programme of research)
Call for proposals
Podpora začínajících pracovníků výzkumu 3 (SMSM2004001K3)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
11674/2005-31
Alternative language
Project name in Czech
Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou
Annotation in Czech
Cílem projektu je příprava nových Si-O-C:H polymerů variabilních ve své nanostruktuře i organicko-anorganickém charakteru a příprava tvrdých ochranných Si-O-C a Si-N-C vrstev vykazujících nízké vnitřní pnutí a dobrou adhezi k různým substrátům. Siloxanové polymery budou připravovány metodou PECVD ve vysokofrekvenčním plazmatu doutnavého výboje za použití organosilikonových reaktantů (hexametyldisiloxan, oktametylcyklotetrasiloxan, dekametylcyklopentasiloxan) a nízkého stupně bombardování ionty. Originalita navrhovaného přístupu spočívá v použití pulzního vf. výboje, což umožňuje změnou délky pulzu a dobou mezi pulzy měnit stupeň zachování původní struktury monomeru. Tvrdé Si-O-C a Si-N-C vrstvy budou připravovány v kapacitně a induktivně vázaném vf. výboji za významné asistence iontů. Zejména bude v tomto případě navázáno na předchozí úspěšné experimenty s depozicí nanokompozitních DLC:SiOx vrstev a jejich depozice bude optimalizována na různé druhy substrátů (sklo, kovy, plasty). Připravené vrstvy bu
Scientific branches
R&D category
NV - Nonindustrial research (Applied research excluded Industrial research)
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
JJ - Other materials
CEP - another secondary branch
JI - Composite materials
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The project tasks were achieved and records were published in prominent scientific journals. Considering the project framework and its budget the record quality reached over the common standard.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2005
Realization period - end
Dec 31, 2007
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 16, 2007
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP08-MSM-1K-U/01:1
Data delivery date
May 19, 2008
Finance
Total approved costs
1,513 thou. CZK
Public financial support
953 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
561 thou. CZK