New low temperature plasmatic deposition technologies of Ba1-xSrxTiO3 thin films for tunable microwave applications
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
The supprot of targeted research projects (National proramme of research)
Call for proposals
Podpora projektů cíleného výzkumu 1 (SAV02005-CI)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
1QS100100563
Alternative language
Project name in Czech
Nové nízkoteplotní plazmatické depoziční technologie tenkých vrstev Ba1-xSrxTiO3 pro laditelné mikrovlnné aplikace
Annotation in Czech
Na základě dosavadních výsledků badatelského výzkumu řešitelského kolektivu bude projekt zaměřen ve směru nízkoteplotních plazmových metod přípravy tenkých vrstev s konečným cílem vypracovat základy pro průmyslově využitelné technologie depozice Ba1-xSrxTiO3 (BST) vrstvových struktur pro laditelné mikrovlnné aplikace. Cílem bude dosažení maximální dielektrické konstanty ? a minimálních ztrát tg ? pro deponované BST vrstvy v mikrovlnném pásmu ? 10 GHz bez nutnosti tepelného zpracování po depozici. Cílemje vytvořit vrstvy s kontrolovatelnou velikostí zrn v rozsahu od mikro- až po nanostrukturu optimalizací a řízením depozičních podmínek. Další součástí cílených výsledků výzkumu bude vývoj nových metod charakterizace BST vrstev v mikrovlnném oboru.
Scientific branches
R&D category
NV - Nonindustrial research (Applied research excluded Industrial research)
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - another secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
New low temperature plasmatic deposition technology of Ba1-xSrxTiO3 films structures for microwave application without necessity of post-deposition thermal treatment was developed on the basis of research results achieved within the framework of project.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jul 1, 2005
Realization period - end
Dec 31, 2008
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 21, 2008
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP09-AV0-1Q-U/03:3
Data delivery date
Jul 2, 2009
Finance
Total approved costs
4,694 thou. CZK
Public financial support
4,694 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK