All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Investigation of TixSiyOz dielectric layers deposited by PECVD for optical and electronic applications

Public support

  • Provider

    Ministry of Education, Youth and Sports

  • Programme

  • Call for proposals

    FP6-2002-Mobility-9

  • Main participants

    Masarykova univerzita / Středoevropský technologický institut

  • Contest type

    RP - Co-financing of EC programme

  • Contract ID

    7AMB15FR036

Alternative language

  • Project name in Czech

    Výzkum dielektrických vrstev TixSiyOz připravených plazmochemickou metodou (PECVD) pro optické a elektronické aplikace

  • Annotation in Czech

    Cílem projektu je připravit TixSiyOz vrstvy s vlastnostmi vhodnými pro aplikace v integrovaných kondenzátorech s vysokou kapacitou a pokročilé optické vrstvy. Oba tyto typy aplikací využívají unikátních vlastností TiO2 materiálu, ale limitující faktory dané vlastnostmi TiO2 budou řešeny pomocí míchání tohoto materiálu s oxidem křemíku. Záměrem projektu je navrhnout depoziční technologii, která je použita při nízké teplotě a patří mezi postupy šetrné k životnímu prostředí. Proto byla zvolena metoda plazmochemické depozice (PECVD). S hlavním cílem projektu souvisí několik následujících dílčích cílů: Nalézt podmínky v plazmatu, které jsou vhodné pro depozici vysoce kvalitních konformních dielektrických TixSiyOz vrstev. Identifikovat podmínky pro depoziciuniformních a homogenních TixSiyOz vrstev s variabilními optickými vlastnostmi. Porozumět základním mechanismům depozice určujícím morfologii a strukturu vrstev, a tedy efektivně optimalizovat vlastnosti vrstev. Určit zda je TixSiyOz materiál tvořen homogenní jednofázovou směsí s atomárním mixováním Ti-O-Si vazeb nebo zda jde o směs nekolika separovaných fází, především TiOx a SiOx. Tento dílčí cíl také zahrnuje určení podmínek pro cílený vznik nanokrystalků a výzkum jejich vlivu na funkční vlastnosti vrstev. Vztah mezi depozičními podmínkami a vlastností a strukturou vrstev bude určen pro různé podmínky v ICP výbojích. Na základě těchto výsledků budou navrženy optimální podmínky pro depozici opticky homogenních vrstev s možností variace indexu lomu. Elektrické měření spolu s testováním konformity depozice vrstev pomůže identifikovat depoziční podmínky TixSiyOz vrstev vhodných pro navržení 3D integrovaných kondenzátorů. K pochopení nejdůležitějších faktorů ovlivňujících depozici vrstev bude využita diagnostika plazmatu.

Scientific branches

  • R&D category

    ZV - Basic research

  • CEP classification - main branch

    BL - Plasma physics and discharge through gases

  • CEP - secondary branch

    JA - Electronics and optoelectronics

  • CEP - another secondary branch

    JJ - Other materials

  • OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

    10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Completed project evaluation

  • Provider evaluation

    U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

  • Project results evaluation

    This project was being realized in the framework of the MOBILITY Activity that aims primarily on establishing and strenghtening ties with foreign research institutions. The control of particular outputs is not implemented by the evalution committee, but the correctness of allocated finances and the adequacy of their use are checked.

Solution timeline

  • Realization period - beginning

    Jan 1, 2015

  • Realization period - end

    Dec 31, 2016

  • Project status

    U - Finished project

  • Latest support payment

    Mar 30, 2016

Data delivery to CEP

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

  • Data delivery code

    CEP17-MSM-7A-U/02:1

  • Data delivery date

    Jun 28, 2017

Finance

  • Total approved costs

    108 thou. CZK

  • Public financial support

    108 thou. CZK

  • Other public sources

    0 thou. CZK

  • Non public and foreign sources

    0 thou. CZK