Analysis and application of plasma assisted processes for the fabrication of amorphous chalcogenide thin films
Project goals
Chalcogenide glasses and thin films are important group of inorganic materials which are suitable for optical and optoelectronic applications, for example materials for optical and electrical memories. In the frame of the project, plasma processes for fabrication of thin films of selected perspective amorphous chalcogenides systems - GeGaS(Se, Te), GeAsSe, GeSbTe, etc. - will be studied. Bulk glasses as well as amorphous thin films prepared by pulsed laser deposition will be characterized mainly from the point of view of local structure and optical properties. Plasma formed during interaction of intense laser pulses with chalcogenides will be studied in detail by LDI (laser desorption ionization) time-of-flight mass spectrometry. The results of chemical diagnostics of the plasma will be correlated with the structure and properties of starting bulk glasses and thin films. The results will be further used for the prognosis of synthesis of new materials and for the study and simulation of deposition processes.
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 17 (SGA0201300005)
Main participants
Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta
Univerzita Pardubice / Fakulta chemicko-technologickáContest type
VS - Public tender
Contract ID
13-05082S
Alternative language
Project name in Czech
Analýza a aplikace plazmatických procesů pro přípravu tenkých vrstev amorfních chalkogenidů
Annotation in Czech
Chalkogenidová skla a tenké vrstvy jsou důležitou skupinou anorganických materiálů, jež jsou vhodná pro optické a optoelektronické aplikace, např. materiály pro optické a elektrické paměti. V rámci projektu budou studovány plazmatické procesy pro přípravu tenkých vrstev vybraných perspektivních amorfních chalkogenidů systémů - GeGaS(Se, Te), GeAsSe, GeSbTe, atd. Objemová skla i amorfní tenké vrstvy připravené pulzní laserovou depozicí budou charakterizovány zejména z pohledu lokální struktury a optických vlastností. Plazma vznikající při interakci intenzívních laserových pulzů s chalkogenidy bude detailně studována LDI (laser desorption ionization) time-of-flight hmotnostní spektrometrií. Výsledky chemické diagnostiky plazmatu budou korelovány se strukturou a vlastnostmi výchozích objemových skel i tenkých vrstev. Výsledky budou dále použity pro předpověď syntéz nových materiálů i pro studium a modelovaní depozičních procesů.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
CA - Inorganic chemistry
CEP - secondary branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - another secondary branch
CB - Analytical chemistry, separation
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
10402 - Inorganic and nuclear chemistry
10406 - Analytical chemistry
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The project dealt mainly with the pulsed laser deposition of high-purity chalcogenide glasses and amorphous thin films based on Ge-Sb, Ge-Sb-Te, Ge-As-Is-and-As-Ge Te. The project objectives have been met. Publication outputs (17 publications in impacted journals) are more than adequate. Deficiencies in the funds have not been found.
Solution timeline
Realization period - beginning
Feb 1, 2013
Realization period - end
Dec 31, 2015
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 20, 2015
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP16-GA0-GA-U/01:1
Data delivery date
Sep 25, 2017
Finance
Total approved costs
7,654 thou. CZK
Public financial support
7,654 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Recognised costs
7 654 CZK thou.
Public support
7 654 CZK thou.
0%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
CA - Inorganic chemistry
Solution period
01. 02. 2013 - 31. 12. 2015