X-ray photoelectron spectroscopy characterization and plasma etching structuration of amorphous chalcogenides
Public support
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
Programme
—
Call for proposals
—
Main participants
Univerzita Pardubice / Fakulta chemicko-technologická
Contest type
M2 - International cooperation
Contract ID
MSMT-1907/2017
Alternative language
Project name in Czech
Charakterizace amorfních chalkogenidů rentgenovou fotoelektronovou spektroskopií a jejich strukturování plazmatickým leptáním
Annotation in Czech
V rámci projektu budou připravena vysoce kvalitní objemová chakogenidová skla Ge-(As, Sb)-Se-(Te) a pomocí pulzní laserové depozice a RF magnetronového naprašování jejich amorfní tenké vrstvy. Připravené vrstvy budou charakterizovány ve smyslu struktury (XPS, Ramanova spektroskopie), morfologie (AFM, SEM-EDX) a optických vlastností (spektroskopická elipsometrie). Strukturní vlastnosti tenkých vrstev budou studovány v závislosti na depozičních parametrech a chemickém složení. Budou získány fundamentální znalosti mechanismu leptání chalkogenidových skel plazmatem s vysokou hustotou. Zvláštní důraz bude kladen na studium struktury povrchu chalkogenidových tenkých vrstev pomocí XPS před, během a po leptání indukčně vázaným plazmatem. Budou identifikovány plazmatické procesy s potenciálem pro strukturování reálných zařízení. Základní leptané struktury budou hodnoceny s ohledem na potenciální aplikace.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JH - Ceramics, fire-proof materials and glass
CEP - secondary branch
CA - Inorganic chemistry
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10402 - Inorganic and nuclear chemistry<br>20504 - Ceramics
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
This project was being realized in the framework of the MOBILITY Activity that aims primarily on establishing and strenghtening ties with foreign research institutions. The control of particular outputs is not implemented by the evalution committee, but the correctness of allocated finances and the adequacy of their use are checked.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2017
Realization period - end
Dec 31, 2018
Project status
U - Finished project
Latest support payment
May 29, 2018
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP19-MSM-7A-U/01:1
Data delivery date
Jun 18, 2019
Finance
Total approved costs
107 thou. CZK
Public financial support
107 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK