Hybrid high-density low-temperature microwave plasma sources in matrix configuration suitable for growth of advanced materials and their (nano) composites on 2D and 3D substrates
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
Programme of applied research and experimental development ALFA
Call for proposals
ALFA 1 (STA02011TA01)
Main participants
SVCS Process Innovation s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
20110108
Alternative language
Project name in Czech
Nízkoteplotní hybridní mikrovlnné plazmové zdroje s vysokým stupněm ionizace uspořádaných v matricové konfiguraci umožňujících depozice perspektivných materiálů a jejich (nano) kompozitů na 2D a 3D objekty
Annotation in Czech
Hlavním cílem předkládaného projektu je návrh, vývoj a realizace hybridního a plně modulárního mikrovlnného systému chemické depozice z plynné fáze za asistence plazmatu založeného na nízkoteplotním zdroji plazmatu, surfatronu, s vysokým stupněm ionizace, který bude vhodný pro růst nových, moderních materiálů a jejich (nano) kompozitních forem, jako jsou například oxidy (TiO2, ZnO) nebo diamant. Hlavní výzvou projektu je zajištění několika různých průmyslových aspektů v jednom systému. Jedná se například o kombinace depozice na rozsáhlé plochy či 2D/3D objekty, nízké depoziční teploty, vysoké spolehlivosti a reprodukovatelnosti plazmové depozice při zachování dlouhodobé stability celého procesu. Zdroj plazmatu v radiálním či lineárním uspořádání bude systematicky studován množstvím analytických metod v závislosti na procesních parametrech (celkový tlak, složení plynné směsi, geometrie systému zdroje plazmatu a podobně). Výsledný depoziční systém bude vhodný pro široké spektrum průmyslových aplikací.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
JJ - Other materials
CEP - another secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
This is preliminary data, no approval by the provider.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2011
Realization period - end
Dec 31, 2014
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2013
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP15-TA0-TA-U/04:1
Data delivery date
Jul 10, 2020
Finance
Total approved costs
29,820 thou. CZK
Public financial support
23,631 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
6,189 thou. CZK