Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films

Project name in Czech
Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev
Annotation in Czech
Hlavním cílem navrhovaného projektu je konstrukce a optimalizace nového hybridního HiPIMS systému pro depozice nanostrukturovaných perovskitových oxidů PbZrxTi1-xO3 (PZT) pracujícího s vysokým výkonem v krátkém časovém pulzu plazmatu. Hlavním cílem projektu bude výzkum různých kombinací buzení výboje paralelním zapojením pulzních generátorů pracujících na nízkých (10-1000 Hz) a vysokých (50-400 kHz) pulzních frekvencích. Dalším cílem pak bude výzkum různých kombinací plazmových zdrojů jako je planární magnetron a plazmová tryska (pracující s dutou katodou a proudícím plynem) pracujících v HiPIMS módu. Cílem tedy bude nalézt takové podmínky hybridních systémů, umožňující deponovat dostatečně homogenní nanostrukturované tenké vrstvy PZT na kovové nebo dielektrické substráty požadované struktury a stechiometrie co nejvyšší depoziční rychlostí. S tím souvisí nalezení optimálních depozičních podmínek hybridního HiPIMS systému pomocí sofistikovaných diagnostických metod plazmatu.

R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - another secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The hybrid HiPIMS deposition system using a combination of MF pulsed discharge or ECWR discharge was implemented within the project. The system has been successfully diagnosed with low-temperature plasma diagnostics techniques and optimized for the deposition of oxide layers. First deposition experiments showed that the optimized system may significantly affect the crystal structure of the films.

Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP14-MSM-LD-U/01:1
Data delivery date
Jun 30, 2014

Similar projects(10)