Understanding of Hybrid PVD-PECVD Process with Aim to Control Grow of Nanostructured Composite Coatings
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 15 (SGA02012GA-ST)
Main participants
Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
P205-12-0407
Alternative language
Project name in Czech
Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Annotation in Czech
Tento projekt je zaměřen na studium chování hybridního PVD-PECVD procesu, který bude využit pro přípravu nanostrukturovaných kompozitních materiálů typu n-MC/a-C(:H). Hlavním cílem tohoto projektu je porozumět souvislostem mezi parametry depozičního procesu, vlastnostmi depozičního plazmatu a vlastnostmi deponovaných vrstev. Projekt se bude rovněž věnovat experimentálnímu studiu hysterezního chování hybridního PVD-PECVD procesu a jeho modelování. Systém n-TiC/a-C:H bude studován detailně, systém n-WC/a-C:H pro porovnání a ověření obecné platnosti získaných poznatků. Kromě obvyklého buzení plazmatu bude magnetronová katoda buzena rovněž pulzy velkého výkonu (HIPIMS) s cílem výrazně zvýšit iontový bombard rostoucí vrstvy. V rámci této práce se zaměříme také na charakterizaci mechanických vlastností systému povlak/substrát s cílem optimalizovat depoziční proces a na zlepšení metod pro charakterizaci vrstevnatých nanostrukturních materiálů. Depozice bude provedena nejen na laboratorní vzorky, ale i na průmyslově používané řezné nástroje, kterými budou provedeny zátěžové řezné zkoušky .
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The results of the project, focused on the research of hybrid PVD-PECVD processes match the original objectives. The main results were published as 11 papers in international impacted journals. Along the achieved project goals there are also such benefits as active involvement of students and the development of international cooperation. The funds were used correctly and efficiently.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2012
Realization period - end
Dec 31, 2016
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 5, 2016
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP17-GA0-GA-U/03:1
Data delivery date
Jun 28, 2017
Finance
Total approved costs
8,535 thou. CZK
Public financial support
8,535 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK