Research and development of advanced PVD/PECVD low-temperature plasma system for deposition of functional thin and thick TiO2 films for industrial applications.
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
Programme for funding of applied research and experimental development DELTA
Call for proposals
DELTA 1 (STA02015TF)
Main participants
IQS Group s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
2015TF01000084
Alternative language
Project name in Czech
Výzkum a vývoj pokročilého PVD/PECVD nízkoteplotního plazmatického systému pro depozice funkčních oxidů se zaměřením na tenké a tlusté vrstvy TiO2 pro průmyslové aplikace.
Annotation in Czech
Cílem projektu je návrh, vývoj a realizace modulárního hybridního PVD-PECVD systému pro nízkoteplotní depozice funkčních tenkých a tlustých vrstev oxidů. Systém bude založen na vícetryskové technologii pulzních dutých katod a umožní rychlé nanášení homogenních funkčních vrstev na teplotně citlivé substráty o velkých rozměrech vhodných pro průmyslové aplikace. Hlavní směr projektu bude soustředěn zejména na vrstvy TiO2 (s významným aplikačním potenciálem pro aplikovanou nanostrukturovanou optiku, difraktivní prvky pro ochranu proti padělání, fotoelektrochemický rozklad vody) a další aplikačně zajímavé oxidy. Oproti stávajícím dostupným technologiím bude dosaženo vysoké depoziční rychlosti, vysoké míry regulovatelnosti parametrů deponovaných vrstev s možností aplikace tlustých vrstev.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
JI - Composite materials
CEP - another secondary branch
JP - Industrial processes and processing
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20501 - Materials engineering<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The project achieved all its set goals at a reasonable cost. The quality of its results is very high, which ensures a considerable degree of subsequent applicability in practice. The return on investment is therefore very promising. International cooperation was justified, but was slightly delayed due to lower funding from the Vietnamese side. The researchers documented cooperation on joint articles and dissemination activities. According to the available information, it can be stated that the cooperation has led to closer contacts and mutual cooperation in the future. From this point of view, it can be stated that the project also fulfilled its goal in the area of supporting international cooperation.
Solution timeline
Realization period - beginning
Mar 1, 2015
Realization period - end
Feb 28, 2018
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2018
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP19-TA0-TF-U/09:1
Data delivery date
Jun 28, 2021
Finance
Total approved costs
15,757 thou. CZK
Public financial support
11,414 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
4,344 thou. CZK