Investigation of Multi-Plasma-Jet System as a Source for Low Temperature Deposition of Perovskites Thin Films
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
The research grant projects for juniors
Call for proposals
Juniorské badatelské grantové projekty 1 (SAV02003-XJ)
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Studium vícetryskového systému s plazmovými kanály a dutými katodami pro nízkoteplotní depozici perovskitových tenkých vrstev
Annotation in Czech
Cílem navrhovaného projektu bude studium nízkotlakého plazmatického vícetryskového naprašovacího systému, který bude použit pro nízkoteplotní depozici tenkých vrstev perovskitů (PZT(Pb1-xZrxTiO3),SrMoFeO6,KNbO3 a KTaO3. Hlavní cíl bude depozice těchto typů vrstev a polymerní a plastové substráty. Na deponovaných vrstvách budou zkoumány feroelektrické vlastnosti, struktura, chemické složení, hustota defektů, optické vlastnosti atd. Tyto parametry budou korelovány s různými konfiguracemi vícetryskového systému a parametry reaktivního plazmatu. Reaktivní rozprašování trysek pracujících jako duté katody bude využito pro depoziční proces. Výboj v dutých katodách bude generován pomocí vysokofrekvenčního vykonového zdroje. V případě vodivých dutých katod budestudováno navíc stejnosměrné buzení výboje v duté katodě. Pro diagnostiku plazmatu, která bude prováděna přímo při depozičním procesu bude použita časově rozlišená emisní spektroskopie a rychlá RF kompenzovaná Langmuirova sonda.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - another secondary branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Multi-plasma jet system with hollow cathodes was investigated for low temperature deposition of perovskite thin films. PZT films were deposited by this system on polymer substrate. Furthermore successful deposition of perovskite STO, BTO and BSTO films.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2003
Realization period - end
Jan 1, 2005
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP06-AV0-KJ-U/07:5
Data delivery date
Feb 12, 2014
Finance
Total approved costs
1,879 thou. CZK
Public financial support
1,316 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK