Investigation of physical properties and applications of the low pressure plasma-chemical reactor with the system plasma jet channels for thin films deposition
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Post-graduate (doctorate) grants
Call for proposals
Postdoktorandské granty 2 (SGA02002GA-PD)
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Studium fyzikálních vlastností a aplikací nízkotlakého plazmochemického reaktoru se systémem plazmatických kanálů pro depozici tenkých vrstev
Annotation in Czech
Předkládaný projekt se zabývá studiem proudících plazmatických kanálů v plazmochemickém reaktoru s dutými katodami při depozici tenkých vrstev. Účelem tohoto studia bude snaha o porozumění procesům v reaktivním plazmatu ovlivňujících růst tenkých vrstev.Toto studium by mělo umožnit lepší využití a optimalizaci těchto technologií. Výbojové plazma v dutých katodách a plazmatických kanálech bude buzeno RF, modulovaným RF, DC a DC pulzním zdrojem. Měření parametrů proudících kanálů bude realizováno pomocíemisní spektroskopie plazmatu spektrometrem TRIAX Joben Yvon vybaveného CCD detektorem citlivým v UV a viditelné oblasti a fotonásobičovým systémem s rychlou odezvou. Tyto experimenty budou dále doplněny měřením RF kompenzovanou Langmuirovou sondou.Měřeníparametrů plazmatu bude provedeno při depozici ZnO orientovaných polykrystalických vrstev (osa c kolmá k povrchu substrátu) a analogických vrstev dopovaných definovaným množstvím lithia. Pro tento účel bude použito reaktivní rozprašování Zn nebo
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
JP - Industrial processes and processing
CEP - another secondary branch
CI - Industrial chemistry and chemical engineering
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20401 - Chemical engineering (plants, products)<br>20402 - Chemical process engineering<br>20501 - Materials engineering<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Several types of diagnostics of low temperature plasma were realized during the project. These methods were implemented in the investigated plasma-chemical reactor with hollow cathode. This reactor was modified and optimized for the deposition of particu
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2002
Realization period - end
Jan 1, 2004
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2005/GA0/GA05GP/U/N/A:8
Data delivery date
Jul 23, 2008
Finance
Total approved costs
1,800 thou. CZK
Public financial support
676 thou. CZK
Other public sources
1,124 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK