Investigation of physical parameters and optimisation of novel system for plasma surface treatment
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)
Main participants
Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích / Přírodovědecká fakulta
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Studium fyzikálních parametrů a optimalizace nově vyvinutých systémů pro plazmovou modifikaci povrchů
Annotation in Czech
V poslední dekádě byly v našich laboratořích vyvinuty plazma chemické systémy (reaktory) ve kterých je plazmový kanál vytvářen pomocí proudícího kanálu pracovního plynu. Kanál pracovního plynu určuje tak tvar plazmatického kanálu. Plazmatický kanál je pagenerován RF polem budící RF výboj: V nízkotlakém RF reaktoru je plazmový kanál generován výbojem v duté katodě, která vzniká ve trysce, kterou proudí pracovní plyn do reaktoru. Ve vysokotlakém systému je plazmový kanál vytvářen RF unipolárním pochodňovývýbojem. Z hlediska depozice tenkých vrstev se ukazuje jako perspektivní reaktor s vícetryskovým systémem vytvářejícím několik plazmových kanálů. Tento systém umožňuje depozici slitinových, kompozitních vrstev a vícevrstevnatých struktur na rovinné substráty, vnitřní stěny dutin a trubic a na substráty komplikovaných tvarů. Dosud byly uvedené systémy převážně používány empiricky při depozici některých tenkých vrstev. Pro optimalizaci systémů je nutný další systematický základní i aplikovaný výzkum:
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
JP - Industrial processes and processing
CEP - secondary branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - another secondary branch
CI - Industrial chemistry and chemical engineering
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20401 - Chemical engineering (plants, products)<br>20402 - Chemical process engineering<br>20501 - Materials engineering<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Projekt byl zaměřen na aktuální problematiku studia RF buzených dutých katod a plazmatických kanálů a využití těchto systémů pro nové metody depozice tenkých vrstev. V oblasti teoretické byly vypracovány modely dějů v duté katodě. V oblasti diagnostiky p
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2000
Realization period - end
Jan 1, 2002
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2003/GA0/GA03GA/U/N/9:7
Data delivery date
May 19, 2008
Finance
Total approved costs
3,269 thou. CZK
Public financial support
1,973 thou. CZK
Other public sources
1,944 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK