Processes in the unipolar RF hollow cathode discharge induced in the plasma reactor
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
Call for proposals
—
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Procesy v jednopolovém RF výboji s dutou katodou indukovaném v plazmatickém reaktoru
Annotation in Czech
Na konci osmdesátých let byl ve Fyzikálním ústavu AV ČR vyvinut plazma-chemický reaktor pracující na novém principu generace plazmového kanálu pomocí indukovaného RF výboje v duté katodě, který se superponuje na RF výboj a reaktoru. Experimenty ukázaly,že pomocí tohoto reaktoru je možné nanášet tenké vrstvy s definovanou stechiometrií a nanášet tenké vrstvy do dutin a na substráty komplikovaných tvarů. V poslední době byl vyvinut dvoukatodový systém, pomocí kterého je možno nanášet kompositní vrstvy avícevrstevnaté struktury. Uvedený reaktor tak může nahradit některé dosavadní technologie, které mají negativní vliv na životní prostředí, a dále umožnit zavedení nových technologií využitelných např. v medicíně, ekologii a v biofyzice. Ve většině případů se však dosud reaktory s dutou katodou využívaly na základě převážně empirických zkušeností bez komplexního studia procesů v nich probíhajících. Cílem předloženého projektu je proto provést komplexní studium procesů ve zmíněném reaktoru.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Byl vypracován model základních procesů pro nízkotlaký RF doutnavý výboj v unipolární duté katodě. Výsledky byly využity pro optimalizaci parametrů procesu depozice tenkých vrstev.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1998
Realization period - end
Jan 1, 2000
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2001/AV0/AV01IA/U/N/4:2
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
6,743 thou. CZK
Public financial support
505 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK