The development and application of the supersonic multi-hollow-cathode systém for the plasma-chemical reactor

Provider

Czech Science Foundation

Programme

Standard projects

Call for proposals

—

Main participants

Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Vývoj a plazma-chemické aplikace supersonického tryskového systému dutých katod v plazma-chemickém reaktoru

Annotation in Czech

Konfigurace plasmachemického reaktoru s jednou dutou katodou, která zároveň slouží jako tryska, kterou se vhání pracovní plyn do reaktoru se ukázala jako velmi perspektivní z hlediska nanášení tenkých vrstev a k povrchové úpravě materiálů. Experimenty totiž prokázaly velkou chemickou aktivitu v generovaném plazmatickém kanálu a ukázaly, že je možno nanášet tenké vrstvy z definovanou stechiometrií. Např. Ge3N4, Cu3N, v poslední době též byly provedeny experimenty s C3N4. Experimenty rovněž prokázaly, žeje možno nanášet tenké vrstvy a provést povrchovou úpravu materiálů v dutinách a na substrátech komplikovaných tvarů. Z hlediska dalšího technologického využití reaktoru s dutými katodami se ukazuje velmi perspektivní, že použití multikatodového systémumůže umožnit nanášení kompozitních vrstev a složitých vrstevnatých struktur. Předběžné experimenty ukázaly, že je možno zvyšovat tlak pracovního plynu až do atmosferického tlaku. Pro vývoj plasmachemického reaktoru s multikatodovým systémem se ukazuje ja

R&D category

—

CEP classification - main branch

BI - Acoustics and oscillation

CEP - secondary branch

JI - Composite materials

CEP - another secondary branch

JJ - Other materials

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10307 - Acoustics<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Provider evaluation

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Project results evaluation

Byla vypracována technologie úpravy povrchu a depozice vrstev pomocí nízko- i vysokotlaké RF plazmové trysky vhodná zejména pro úpravu povrchů dutin a nerovných substrátů. Přínosem je rovněž vyvinutý systém optické a sondové 'in situ' diagnostiky plazmat

Realization period - beginning

Jan 1, 1998

Realization period - end

Jan 1, 1999

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/2000/GA0/GA00GA/U/6:2

Data delivery date

—

Total approved costs

1,303 thou. CZK

Public financial support

1,242 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK