Research of novel mechatronic MEMS structures for pressure measurements
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
Sustainable welfare
Call for proposals
Trvalá prosperita 1 (SMPO200600001)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
2A-1TP1/143
Alternative language
Project name in Czech
Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku.
Annotation in Czech
Cílem navrhovaného projektu je aplikovaný výzkum plně inteligentních senzorů tlaku využívajících struktur MEMS a navazujících nanotechnologických struktur včetně výzkumu a experimentálního ověření nových principů snímání tlaku. Mezi cíle patří vývoj unikátních výrobních technologií, které umožní: a)vyrobit nebo aplikovat membránu z optimálně navrženého materiálu s povrchovou úpravou vhodně zvoleným materiálem, ideálním profilem plochy, b)vyvinout vhodnou technologii MEMS pro snímání, vytvořit modul tlakového snímače MEMS s optimálním rozhraním pro dosažení ideálních vlastností senzoru, c) vyrobit tabletu vlastního snímače tlaku MEMS z vybraných materiálů s integrovaným obvodem ASIC.Výstupem projektu převážně základního a plikovaného výzkumu budou novémetody a technologie MEMS pro senzorové vnímání tlak.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
CEP classification - main branch
JD - Use of computers, robotics and its application
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering<br>20204 - Robotics and automatic control<br>20205 - Automation and control systems
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The main output of an applied research project are new procedures for a production of inteligent pressure sensors and a functional of an inteligent pressure sensor in the tech. MEMS. There was developed a new series of pressure sensors DSPxxx and DSkxxx.
Solution timeline
Realization period - beginning
Nov 15, 2006
Realization period - end
Dec 31, 2011
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 29, 2011
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP12-MPO-2A-U/01:1
Data delivery date
Jul 23, 2012
Finance
Total approved costs
84,866 thou. CZK
Public financial support
45,000 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
39,866 thou. CZK