MEMS ESO - MEMS sensors with optical scanning
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
Programme of applied research and experimental development EPSILON
Call for proposals
EPSILON 3 (STA02017TH030)
Main participants
Honeywell International s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
TH03010205 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
MEMS ESO - MEMS sensory s optickým snímáním
Annotation in Czech
Cílem projektu je výzkum a vývoj funkčního vzorku nové struktury vzorku MEMS inerciálního senzoru včetně výzkumu optického vyčítání a ověření funkčnosti vzorku měřením. Součástí tohoto cíle je výzkum inovativní architektury budicích obvodů a vývoj řídicí a budicí elektroniky ve formě integrovaného obvodu, včetně vývoje ověřené technologie rychlého a precizního laserového obrábění definovaných soustav cylindrických otvorů mikrometrových rozměrů v opticky transparentních materiálech a vývoj interferometrické metody pro měření pohybu MEMS struktur v řádech jednotek nanometrů. Výstupy projektu: Funkční vzorek MEMS inerciálního senzoru s optickým vyčítáním (12/2021) Ověřená technologie precizního obrábění optických materiálů (12/2020) Více v kapitole 1 Hlavní přílohy.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
OECD FORD - main branch
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - secondary branch
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - another secondary branch
20202 - Communication engineering and systems
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
JA - Electronics and optoelectronics<br>JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation<br>JW - Navigation, connection, detection and countermeasure
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
These are preliminary data, the project evaluation hasn´t proceeded yet.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2018
Realization period - end
Dec 31, 2021
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2021
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP22-TA0-TH-U
Data delivery date
Jun 30, 2022
Finance
Total approved costs
39,179 thou. CZK
Public financial support
23,230 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
16,536 thou. CZK