All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

MEMS ESO - MEMS sensors with optical scanning

Public support

  • Provider

    Technology Agency of the Czech Republic

  • Programme

    Programme of applied research and experimental development EPSILON

  • Call for proposals

    EPSILON 3 (STA02017TH030)

  • Main participants

    Honeywell International s.r.o.

  • Contest type

    VS - Public tender

  • Contract ID

    TH03010205 - Smlouva o poskytnutí podpory

Alternative language

  • Project name in Czech

    MEMS ESO - MEMS sensory s optickým snímáním

  • Annotation in Czech

    Cílem projektu je výzkum a vývoj funkčního vzorku nové struktury vzorku MEMS inerciálního senzoru včetně výzkumu optického vyčítání a ověření funkčnosti vzorku měřením. Součástí tohoto cíle je výzkum inovativní architektury budicích obvodů a vývoj řídicí a budicí elektroniky ve formě integrovaného obvodu, včetně vývoje ověřené technologie rychlého a precizního laserového obrábění definovaných soustav cylindrických otvorů mikrometrových rozměrů v opticky transparentních materiálech a vývoj interferometrické metody pro měření pohybu MEMS struktur v řádech jednotek nanometrů. Výstupy projektu: Funkční vzorek MEMS inerciálního senzoru s optickým vyčítáním (12/2021) Ověřená technologie precizního obrábění optických materiálů (12/2020) Více v kapitole 1 Hlavní přílohy.

Scientific branches

  • R&D category

    VV - Exeperimental development

  • OECD FORD - main branch

    20201 - Electrical and electronic engineering

  • OECD FORD - secondary branch

    20201 - Electrical and electronic engineering

  • OECD FORD - another secondary branch

    20202 - Communication engineering and systems

  • CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

    JA - Electronics and optoelectronics<br>JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation<br>JW - Navigation, connection, detection and countermeasure

Completed project evaluation

  • Provider evaluation

    U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

  • Project results evaluation

    These are preliminary data, the project evaluation hasn´t proceeded yet.

Solution timeline

  • Realization period - beginning

    Jan 1, 2018

  • Realization period - end

    Dec 31, 2021

  • Project status

    U - Finished project

  • Latest support payment

    Feb 28, 2021

Data delivery to CEP

  • Confidentiality

    C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

  • Data delivery code

    CEP22-TA0-TH-U

  • Data delivery date

    Jun 30, 2022

Finance

  • Total approved costs

    39,179 thou. CZK

  • Public financial support

    23,230 thou. CZK

  • Other public sources

    0 thou. CZK

  • Non public and foreign sources

    16,536 thou. CZK