All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Metrology for the manufacturing of thin films

Public support

  • Provider

    Ministry of Education, Youth and Sports

  • Programme

  • Call for proposals

    FP6-2005-Energy-4

  • Main participants

  • Contest type

    RP - Co-financing of EC programme

  • Contract ID

    MSMT-2490/2013-310

Alternative language

  • Project name in Czech

    Metrologie při výrobě tenkých vrstev

  • Annotation in Czech

    V rámci projektu se řeší otázky charakterizace tenkých vrstev. Jednotlivé úkoly jsou následující: - návaznost, vzájemné srovnání a validace metod při určování materiálových vlastností relevantních pro tenkovrstevnaté systémy, - vývoj a vyhodnocení metodměření pro složité vrstevnaté systémy, - metrologie aplikovatelná při kontrole kvality ve výrobním procesu. ČMI se bude v rámci projektu zabývat měřením odrazivosti na velké ploše vzorku. Jedná se metodu známou jako digitální reflektometrie, kdy ze seriefotek vzorku osvětleného světlem o různých vlnových délkách, lze sestavit sadu reflektometrických spekter, ze které se pak určí optické vlastnosti vzorku jako např. index lomu, index absorpce či tloušťky tenké vrstvy na velké ploše vzorku (cca 1 cm2).

Scientific branches

  • R&D category

    AP - Applied research

  • CEP classification - main branch

    JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation

  • CEP - secondary branch

    BM - Solid-state physics and magnetism

  • CEP - another secondary branch

  • OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

    10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Completed project evaluation

  • Provider evaluation

    U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

  • Project results evaluation

    Project was focused on development of metrology tools and their traceability for physical and structural analysis of thin films. Main results include novel devices, methodology and reference materials.

Solution timeline

  • Realization period - beginning

    Jan 1, 2012

  • Realization period - end

    Jul 31, 2014

  • Project status

    U - Finished project

  • Latest support payment

    Mar 6, 2014

Data delivery to CEP

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

  • Data delivery code

    CEP15-MSM-7A-U/01:1

  • Data delivery date

    Jul 2, 2015

Finance

  • Total approved costs

    1,033 thou. CZK

  • Public financial support

    1,033 thou. CZK

  • Other public sources

    0 thou. CZK

  • Non public and foreign sources

    0 thou. CZK