Metrology for the manufacturing of thin films
Public support
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
Programme
—
Call for proposals
FP6-2005-Energy-4
Main participants
—
Contest type
RP - Co-financing of EC programme
Contract ID
MSMT-2490/2013-310
Alternative language
Project name in Czech
Metrologie při výrobě tenkých vrstev
Annotation in Czech
V rámci projektu se řeší otázky charakterizace tenkých vrstev. Jednotlivé úkoly jsou následující: - návaznost, vzájemné srovnání a validace metod při určování materiálových vlastností relevantních pro tenkovrstevnaté systémy, - vývoj a vyhodnocení metodměření pro složité vrstevnaté systémy, - metrologie aplikovatelná při kontrole kvality ve výrobním procesu. ČMI se bude v rámci projektu zabývat měřením odrazivosti na velké ploše vzorku. Jedná se metodu známou jako digitální reflektometrie, kdy ze seriefotek vzorku osvětleného světlem o různých vlnových délkách, lze sestavit sadu reflektometrických spekter, ze které se pak určí optické vlastnosti vzorku jako např. index lomu, index absorpce či tloušťky tenké vrstvy na velké ploše vzorku (cca 1 cm2).
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
CEP classification - main branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Project was focused on development of metrology tools and their traceability for physical and structural analysis of thin films. Main results include novel devices, methodology and reference materials.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2012
Realization period - end
Jul 31, 2014
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 6, 2014
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP15-MSM-7A-U/01:1
Data delivery date
Jul 2, 2015
Finance
Total approved costs
1,033 thou. CZK
Public financial support
1,033 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK