Plasma surfatron with defined ion flux for cleaning sensitive surfaces with low energy load
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
—
Call for proposals
—
Main participants
LAVAT a.s.
Contest type
OP - EU Operational Programme
Contract ID
MPO 384019/21/61200/509
Alternative language
Project name in Czech
Plazmový surfatron s definovaným tokem iontů pro čištění citlivých povrchů s nízkou energetickou zátěží
Annotation in Czech
Předmětem projektu je výzkum a vývoj nové metody plazmového čištění, spočívající v inovativním způsobu aplikace, která bude spočívat v cíleném a přesně řízeném nastřikování pomocí surfatronu. Výstupem projektu bude prototyp systému plazmového surfatronu s definovaným tokem iontů pro efektivní čištění citlivých povrchů s nízkou energetickou zátěží. Plazmové metody čištění: Příčinou problému je produkce vysokoenergetických iontů nutných k účinnému čištění. Tyto vysoko-energetické částice při dopadu na opracovávaný podklad mohu způsobovat jeho poruchy. Proto je rozsah využití stávajících plazmových čističů pro některé citlivé materiály a pokročilé aplikace výrazně limitován.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
OECD FORD - main branch
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
OECD FORD - secondary branch
—
OECD FORD - another secondary branch
—
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BK - Liquid mechanics<br>BL - Plasma physics and discharge through gases
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2021
Realization period - end
May 31, 2023
Project status
K - Ending multi-year project
Latest support payment
Apr 21, 2021
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP23-MPO-EG-R
Data delivery date
Mar 20, 2023
Finance
Total approved costs
37,769 thou. CZK
Public financial support
0 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
13,582 thou. CZK