Effective coating technology of thin passivation and antireflection layers for production of crystalline solar cells
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
TIP
Call for proposals
TIP 1 (SMPO2009/01)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
FR-TI1/603
Alternative language
Project name in Czech
Implementace efektivní technologie nanášení tenkých pasivačních a antireflexních vrstev do výroby krystalických solárních článků
Annotation in Czech
Pasivační a antireflexní vrstvy solárních článků vyráběných firmou Solartec jsou v současnosti realizovány stechiometrickým nitridem křemíku (Si3N4), rostoucím na křemíkových substrátech za podmínek nízkého tlaku a velmi vysokých teplot (900C) z plynné fáze dichlorsilanu a čpavku. Vysoké procesní teploty mají za následek nevratnou degradaci elektronických vlastností výchozích substrátů, které v důsledku výrazně omezují výslednou účinnost solárního článku. Předkládaný projekt řeší problematiku depozice tenkých pasivačních a antireflexních vrstev výzkumem v oblasti technologie, založené na bázi magnetronového naprašování. V podmínkách nizkoteplotního plazmatu je možné realizovat depozice široké škály vhodných materiálů, kde výhodou je především kontrolovatelnost celého procesu, určení přesného složení vytvářených vrstev a snadná reprodukovatelnost. Součástí projektu je i výzkum nechemického čištění křemíkových desek těsně před depozicí za pomoci vodíkových radikálů aktivovaných plazmatem.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
JP - Industrial processes and processing
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering<br>20501 - Materials engineering<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Proved technologies of plasmochemical cleaning and sputtering of thin dielectric antifeflection and passivation layers on surfaces of crystalline silicon solar cells dedicated for aesthetic application are the results of project.
Solution timeline
Realization period - beginning
Oct 1, 2009
Realization period - end
Sep 30, 2013
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 29, 2013
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP14-MPO-FR-U/02:2
Data delivery date
Jul 17, 2014
Finance
Total approved costs
27,399 thou. CZK
Public financial support
18,849 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
8,549 thou. CZK