*Advanced automated nano structuring using electron and ion beams
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
TIP
Call for proposals
TIP 2 (SMPO2010/01)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
FR-TI2/756
Alternative language
Project name in Czech
*Pokročilé automatické vytváření nanostruktur pomocí elektronových a iontových svazků
Annotation in Czech
*Předmětem projektu je vývoj nového zařízení pro zkřížené iontové a elektronové svazky (FIB-SEM) pro nanotechnologie, nanovědy i průmyslové aplikace. Zařízení bude spojovat dosavadní výhody FIB-SEM spolu s výhodami stolku s přesností podobnou litografickým stolkům. Tím se docílí stroje schopného automatického vytváření nanostruktur. Do FIB-SEM zařízení bude dále integrován nový systém pro vstřikování plynů. Objektiv elektronového tubusu bude nově navržen tak, aby umožnil zpracování waferů. Návrh všech těchto prvků bude ověřen výrobou demonstrátoru a jeho testováním.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
CEP classification - main branch
BF - Elementary particle theory and high energy physics
CEP - secondary branch
JP - Industrial processes and processing
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10303 - Particles and field physics<br>20501 - Materials engineering<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The goals and material contents of the project under subject were fulfilled within the defined extent and terms.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2010
Realization period - end
Dec 31, 2012
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 26, 2012
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP13-MPO-FR-U/02:2
Data delivery date
Jul 14, 2014
Finance
Total approved costs
20,384 thou. CZK
Public financial support
11,085 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
9,299 thou. CZK