Research and development of digital technologies for advanced semiconductor processes
Project goals
Development of Analytical Platform and methodology that will enable the implementation of AI algorithms in an integrated semiconductor manufacturing environment for efficient yield analysis and resolution of complex issues, namely: - R&D of data structures in the R environment that are optimized to work with data from semiconductor processes. - R&D of Analytical Platform architecture, development of a tool set and procedures for viewing and editing chip-based bin maps, bitmap clustering and cluster manipulation. - Development of functions for application of artificial intelligence and machine learning algorithms in the classification of patterns on wafers. - Development Methodology for solving critical problems in semiconductor manufacturing using Analytical Platform.
Keywords
wafer defect patternswafer yieldyield enhancementsemiconductor manufacturingmanufacturing intelligenceadvanced equipment control
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
—
Call for proposals
TREND 1 (STA02019FW010)
Main participants
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
FW01010089 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
Výzkum a vývoj digitálních technologií pro pokročilé polovodičové procesy
Annotation in Czech
Cílem projektu je vývoj platformy nástrojů a metodiky, které umožní implementaci algoritmů umělé inteligence v integrovaném datovém prostředí výroby polovodičů pro efektivní analýzu výtěžnosti a řešení komplexních problémů, konkrétně: - Výzkum a vývoj datových struktur v prostředí R, které jsou optimalizované pro práci s daty z polovodičových procesů. - Výzkum a vývoj architektury Analytické platformy, vývoj souboru nástrojů a postupů pro prohlížení a editaci binových map s čipy, klastrování bitových map a manipulaci s klastry. - Vývoj funkcí pro aplikaci algoritmů umělé inteligence a strojového učení při klasifikaci paternů na deskách. - Vývoj Metodiky řešení kritických problémů ve výrobě polovodičů s využitím Analytické platformy.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
OECD FORD - main branch
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - secondary branch
20205 - Automation and control systems
OECD FORD - another secondary branch
10103 - Statistics and probability
BB - Applied statistics, operational research
JA - Electronics and optoelectronics
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
JD - Use of computers, robotics and its application
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
These are preliminary data, the project evaluation hasn´t proceeded yet.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2020
Realization period - end
Dec 31, 2022
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2022
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP23-TA0-FW-U
Data delivery date
Jun 30, 2023
Finance
Total approved costs
29,590 thou. CZK
Public financial support
17,328 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
12,260 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
29 590 CZK thou.
Public support
17 328 CZK thou.
58%
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
OECD FORD
Electrical and electronic engineering
Solution period
01. 01. 2020 - 31. 12. 2022