High-temperature annealing furnace for SiC semiconductor substrates
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
—
Call for proposals
STA02024FW010
Main participants
SVCS Process Innovation s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
FW10010021 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
Vysokoteplotní zařízení pro aktivaci příměsí v polovodičových SiC substrátech
Annotation in Czech
Cílem projektu je vývoj prototypu zařízení pro aktivaci příměsí v SiC substrátech při teplotách 1600 až 2000 °C. Z počátku bude pozornost zaměřena na samotný vysokoteplotní reaktor, kterým bude osazena kostra existující vertikální pece Si technologie. Budou provedeny testy řízení topného systému, kalibrace teplot a vakuové těsnosti. Cílem prototypu reaktoru je identifikovat možnosti vylepšení konstrukce pro finální zařízení s novým designem kostry umožňující jeho relativně snadné skládání a jednoduchou údržbu. Pro prototyp finálního „aktivátoru“ bude vyvinuta i jednotka automatického nakládání SiC substrátů. Kostra prototypu zařízení bude vedle potřebné elektroniky a výkonových zdrojů pro napájení topných elementů obsahovat i plynový panel, vakuový systém a panel vodního chlazení.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
OECD FORD - main branch
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
OECD FORD - secondary branch
20303 - Thermodynamics
OECD FORD - another secondary branch
20204 - Robotics and automatic control
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BJ - Thermodynamics<br>BM - Solid-state physics and magnetism<br>JD - Use of computers, robotics and its application
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2024
Realization period - end
Dec 31, 2025
Project status
K - Ending multi-year project
Latest support payment
Feb 28, 2024
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP25-TA0-FW-R
Data delivery date
Feb 20, 2025
Finance
Total approved costs
32,309 thou. CZK
Public financial support
22,565 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
10,387 thou. CZK