COMPACT MEMS PIRANI MANOMETR FOR RUGGED TECHNOLOGY APPLICATIONS
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
—
Call for proposals
STA02024FW010
Main participants
LAVAT a.s.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
FW10010337 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
KOMPAKTNÍHO MEMS PIRANI MANOMETR PRO ROBUSTNÍ TECHNOLOGICKÉ APLIKACE
Annotation in Czech
Cílem projektu je vyvinout zcela nový MEMS Pirani manometr, jehož hlavní přidanou hodnotou bude MEMS sensor připravený pomocí pokročilých metod plazmatické depozice funkčních vrstev. Tento sensor umožní rychlejší a přesnější měření s cílem dosáhnout mezního tlaku 10-3 Pa i s možností použití v robustních aplikacích. Další ambicí projektu je vyvinout konstrukcí MEMS sensoru tak, aby bylo dosaženo jednoduchého servisu, možnosti čištění a kalibraci sensoru. Vytyčené cíle projektu přesně reagují na slabé stránky stávajících Pirani manometrů, především jejich krátkou životnost ve více namáhaných prostředích, jejich nižší přesnost a náročnou údržbu (čištění), která často končí znehodnocením manomentru a je nutné pořídit manomentr nový.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
OECD FORD - main branch
20501 - Materials engineering
OECD FORD - secondary branch
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - another secondary branch
21001 - Nano-materials (production and properties)
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
JA - Electronics and optoelectronics<br>JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation<br>JG - Metallurgy, metal materials<br>JJ - Other materials<br>JP - Industrial processes and processing
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2024
Realization period - end
Jun 30, 2026
Project status
B - Running multi-year project
Latest support payment
Feb 28, 2024
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP25-TA0-FW-R
Data delivery date
Feb 20, 2025
Finance
Total approved costs
39,341 thou. CZK
Public financial support
24,159 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
15,182 thou. CZK