Design and construction of an Ultra-violet optical apparatus for in situ measurements of areal optical homogeneity of thin films prepared by IBAD
Project goals
The project proposal suggests to design and build an UV optical apparatus for in situ monitoring of areal thickness- and optical homogeneity of thin films. The method and selected UV wavelength region suggested for this task represents an unique approach, which to the best knowledge of the applicant, has not been used for similar in situ applications yet. The main advantage of the use of UV probing light consists in the fact that the changes in the reflectivity in the UV light region are more sensitiveto the variations of film thicknesses than in the VIS-light region, particularly in case of thinner films. The project proposal is based on the knowledge and expertise of the applicant's team achieved during a former GACR project aimed at the developmentof similar apparatus in the VIS-light region. The possible outcome of the project proposal would be a patented design of the PC-controlled instrument working in the UV range (from 200 nm to 400 nm) of the probing light. A significant part of
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)
Main participants
Vysoké učení technické v Brně / Fakulta strojního inženýrství
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Návrh a konstrukce UV optického měřicího zařízení k in situ monitorování plošné homogenity růstu tenkých vrstev deponovaných metodou IBAD
Annotation in Czech
Cílem podávaného projektu je návrh a konstrukce optického měřicího přístroje určeného k in situ monitorování plošné homogenity tloušťky a optických parametrů tenkých vrstev. Zvolená metoda a rozsah vlnových délek použitého světla představují ojedinělý přístup k řešení daného problému, který podle dostupných znalostí členů týmu navrhovatele doposud nebyl k podobným účelům použit. Jednou z velkých výhod užití UV světla je vyšší citlivost závislosti spektrální odrazivosti na změny tloušťky rostoucí (odprašované) tenké vrstvy, než je tomu v případě použití světla o vlnové délce z viditelné oblasti. Toto platí obzvláště pro velmi tenké vrstvy. Návrh a řešení navrhovaného projektu je založeno na znalostech a poznatcích členů týmu navrhovatele, které byly získány v průběhu úspěšného řešení předchozího projektu GAČR 101/98/0772, který se zabýval vývojem a konstrukcí podobného zařízení pracujícím ve viditelné oblasti spektra. Předpokládaným výstupem navrhovaného projektu by měla být registrace tohoto
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - secondary branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - another secondary branch
JR - Other machinery industry
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
20201 - Electrical and electronic engineering
20301 - Mechanical engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Within the frame of the project several unique optical instruments for ex-situ- and in-situ monitoring of growth homogeneity of thin films have been designed, built and tested. Methods are based on the measurement of reflectivity of "substrate-thin film"
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2002
Realization period - end
Jan 1, 2004
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2005/GA0/GA05GA/U/N/B:7
Data delivery date
Jun 2, 2008
Finance
Total approved costs
2,550 thou. CZK
Public financial support
1,682 thou. CZK
Other public sources
868 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
2 550 CZK thou.
Public support
1 682 CZK thou.
65%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
BH - Optics, masers and lasers
Solution period
01. 01. 2002 - 01. 01. 2004