Investigation of the true secondary electrons detection systems in the newly conceived environmental scanning electron microscope
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 8 (SGA02005GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
102/05/0886
Alternative language
Project name in Czech
Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu
Annotation in Czech
Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM) se řadí k posledním trendům mikroskopických metod. Umožňuje pracovat v komoře vzorku s tlaky vyššími než ve standardním REM (cca. 103Pa oproti 10-3Pa) a pozorovat vzorky v jejich přirozeném vlhkémstavu bez předchozí preparace a bez nežádoucích nabíjecích artefaktů na jejich povrchu. Byla vyřešena celá řada problémů spojených s touto metodikou, nicméně některé nedostatky zůstávají nedořešeny. Projekt se zabývá jedním z nich - detekcí pravých sekundárních elektronů způsobem, který zcela potlačuje vliv nežádoucích zpětně odražených elektronů. Princip detekce spočívá v odsávání sekundárních elektronů ze vzorku umístěného v prostředí vysokého tlaku plynu do prostředí vysokého vakua v němž je umístěnscintilátor s vysokým elektrodovým potenciálem. Sekundární elektrony jsou odsávány pomocí nízkého elektrostatického pole do dvou komor s diferenciálně čerpaným tlakem plynu. Tyto komory jsou odděleny aperturními clonami tvořícími současně
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - another secondary branch
JI - Composite materials
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The solution of the grant project brought new knowledge about the detection of secondary electrons in environmental scanning electron microscopy (ESEM) both by the scintillation-photomultiplier detectors of secondary electrons and by ionization and segme
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2005
Realization period - end
Dec 31, 2007
Project status
U - Finished project
Latest support payment
May 2, 2007
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP08-GA0-GA-U/04:3
Data delivery date
Dec 16, 2008
Finance
Total approved costs
3,485 thou. CZK
Public financial support
3,485 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK