The study of the influence of magnetic and electric fields for amplification of secondary electron signals detected by a novel detector in VP-SEM.
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 13 (SGA02010GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
P102-10-1410
Alternative language
Project name in Czech
Studium vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů detekovaných novým detektorem pro VP-SEM.
Annotation in Czech
Projekt se zabývá aktuálním a velmi důležitým problémem, a to studiem vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů a jejich selektivní detekci v podmínkách vysokého tlaku plynů VP-SEM. V teoretické části je projekt zaměřen na simulace interakcí elektronů s molekulami plynu, na studium vzniku signálů, vzniku a koncentrace iontů a rekombinačních procesů pomocí přídavného modulu softwaru EOD využívajícího metody Monte Carlo. Praktická část projektu je zaměřena na realizaci unikátního detektoru pravých sekundárních a zpětně odražených elektronů, kde sekundární elektrony jsou znásobeny účinkem magnetického pole v prostředí vysokého tlaku plynů a odkloněny elektrostatickým polem na detekční elektrodu umístěnou v rovině vzorku. Zpětně odražené elektrony jsou detekovány pomocí nového monokrystalu CRY018 umístěného nad vzorkem.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The project dealt with the methods of detection of electrons in the ESEM. New detector ISEDS was designed and verified, as well as the detector of back-scattered electron with the single crystal CRY18. The results and publications are adequate to the resources and the size of the research team, the solution was also actively involved by students.The resources were used in accordance with the rules
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2010
Realization period - end
Dec 31, 2013
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Jun 6, 2013
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP14-GA0-GA-U/01:1
Data delivery date
Jul 1, 2014
Finance
Total approved costs
3,725 thou. CZK
Public financial support
3,725 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK