Detection of signal electrons in scaning electron microscopy with low primary beam energies
Project goals
Low energy of signal electrons, especially backscattered electrons, is the reason of lower detectors yield. While the problem of secondary electrons detection was successfully solved by their extraction using a magnetic field and detection in objective lens, efficient detection of backscattered electrons remains unsolved. The project will be aimed on the development of an yttrium aluminium perovskite scintillation detector. The initial energy of backscattered electrons of 0.7-3 kV is the energy, on which the light yield of scintillators decreases. Backscattered electrons with this energy will be accelerated to scintillator by electrostatic field and secondary electrons with maximal energy of 50 eV will be filtered by energy filter or by magnetic field.The influence of different objective lenses on signal electrons trajectories and on detection efficiency of developed detector will be studied in the project. The image interpretation will be focused on the study of contrast mechanisms.
Keywords
low voltage scanning electron microscopydetection of signal electronsbackscattered electronsscintillation detectoryttrium aluminium perovskiteimmersion objective
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
The research grant projects for juniors
Call for proposals
Juniorské badatelské grantové projekty 3 (SAV02005-J)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
KJB200650501
Alternative language
Project name in Czech
Detekce signálních elektronů při nízkých energiích primárního svazku v rastrovací elektronové mikroskopii
Annotation in Czech
Nízká energie signálních elektronů, zejména zpětně odražených elektronů je příčinou snížené výtěžnosti detektorů. Zatímco problém detekce sekundárních elektronů byl úspěšně vyřešen jejich odsáváním v magnetickém poli a detekcí v objektivové čočce, účinnádetekce nízkoenergiových zpětně odražených elektronů dosud zůstala nevyřešena. Projekt bude zaměřen na vypracování scintilačního detektoru na bázi nově vyvinutého monokrystalického ytrito hlihitého perovskytu. Zpětně odražené elektrony o počáteční energii 0,7 - 3 kV, tedy energii, při které klesá světelný výtěžek všech scintilátorů, budou urychleny elektrostatickým polem ke scintilátoru a sekundární elektrony budou odfiltrovány energiovým filtrem nebo magnetickým polem. V rámci projektu budou studoványvlivy různých objektivových čoček na trajektorie signálních elektronů a na detekční účinnost vyvinutého detektoru. Obrazová interpretace bude zaměřena na studium kontrastních mechanismů.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - another secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
New scintillation detector of low energy backscattered electrons was constructed within the project. Material contrast imaging and observation of non-conductive samples at energies beneath 2 keV were studied by the new detector.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2005
Realization period - end
Dec 1, 2007
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 27, 2007
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP08-AV0-KJ-U/02:2
Data delivery date
Apr 3, 2009
Finance
Total approved costs
1,669 thou. CZK
Public financial support
1,669 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
1 669 CZK thou.
Public support
1 669 CZK thou.
100%
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
CEP
JA - Electronics and optoelectronics
Solution period
01. 01. 2005 - 01. 12. 2007