Study of nondestructive methods of imaging in scanning electron microscopy by means of interaction and detection of low energy electrons
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
Call for proposals
—
Main participants
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Studium nedestruktivních metod zobrazování v rastrovací elektronové mikroskopii pomocí interakce a detekce elektronů s nízkou energií
Annotation in Czech
Podstata navrhovaného projektu spočívá v získání dokonalejších resp. nových informací o mikrostrukturální povaze vzorků, které jsou dříve používanými mikroskopickými metodami vysokých energií elektronů pokovovány. Jedná se zejména o biologické a elektrotechnické vzorky. Z metodologického hlediska se projekt soustřeďuje na využití elektronů nízkých energií interagujících se vzorkem téměř bez poškození a s menšími nabíjejicími projevy. Projekt řeší problém brždění energie primárních elektronů dopadajícíchna vzorek, odsávání signálních elektronů směrem k detektoru a jejich účinnou detekci pomocí monokrystalických scintilátorů. Přínosem navrhovaného projektu je získání poznatků o interakčních mechanismech mezi nízkoenergiovými elektrony a pevnou látkou, realizace nově koncipovaných detektorových systémů signálních elektronů s využitím imerzní čočky, jednopolové čočky, kvadrupolového systému a ověření jejich činnosti při dosažení nových obrazových informací.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Byly vyvinuty metody pozorování elektricky nevodivých elektrotechnických a biologických vzorků, prostudovány zobrazovací vlastnosti detekčních systémů s retardery primárního el. svazku, zjištěny selekční principy pro jednotlivé typy signálních elektronů.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1997
Realization period - end
Jan 1, 1999
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2000/AV0/AV00IA/U/6:3
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
1,684 thou. CZK
Public financial support
970 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK